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潔凈室氣體系統(tǒng)分項驗收要求:（1） 各種成品應(yīng)有產(chǎn)品合格證，材料應(yīng)有質(zhì)量證明文件。 （2） 實際使用的管道材料和規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計要求。...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)吹除和供給裝置要求:1. 氣體管道各項試驗合格后，應(yīng)使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內(nèi)污物，吹除氣流流速應(yīng)大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)強度試驗要求:1. 可燃?xì)怏w和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應(yīng)逐個進(jìn)行強度和嚴(yán)密性試驗。管路系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)對系統(tǒng)進(jìn)行強度試驗。強度試驗應(yīng)采用氣壓試驗，并應(yīng)采取嚴(yán)格的安全措施，不得采用...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)安裝要求:管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作： （1） 配管下料時應(yīng)采用“等離子切割”或?qū)Ｓ们懈钿?、割管刀等工具，不?yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。...
潔凈室氣體系統(tǒng)管材及附件設(shè)計要求:一、潔凈室氣體系統(tǒng)設(shè)計一般規(guī)定 1. 潔凈室氣體系統(tǒng)施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫(yī)用氣體、可燃?xì)怏w、惰性氣體輸送管道以及真空...
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