6.7.1 潔凈室氣體系統(tǒng)分項驗收應(yīng)首先檢查以下各項：

      （1） 各種成品應(yīng)有產(chǎn)品合格證，材料應(yīng)有質(zhì)量證明文件。

      （2） 實際使用的管道材料和規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計要求。

      （3） 系統(tǒng)安裝應(yīng)完整、正確，連接應(yīng)可靠。除樓層或區(qū)域總管與所安裝系統(tǒng)的供氣閥門（或供氣管）不連接外，其他管路、閥門和附件都應(yīng)安裝連接完畢。

      （4） 不同系統(tǒng)的管道應(yīng)有明顯的識別標志，需裝拆、檢修、維護的地方必須有識別標志，每個支、吊架附近也應(yīng)有識別標志。

6.7.2 潔凈室氣體系統(tǒng)的分項驗收應(yīng)包括以下主控項目：

      （1） 所有氣體管道應(yīng)進行氣密檢查，檢查用壓力表精度等級不應(yīng)低于1.5級，指示壓力應(yīng)在表量程1／3～2／3之間。

      檢驗方法：檢查記錄。

      檢驗數(shù)量：全部系統(tǒng)管道。

      （2） 高純氣體管道安裝完畢應(yīng)徹底吹除，并對排氣潔凈度、干燥度和輸送氣體純度進行檢查。

      試驗介質(zhì)為管道實際輸送的氣體或氮氣。試驗介質(zhì)的潔凈度以微粒數(shù)衡量，干燥度以水痕量濃度衡量，純度以氧、二氧化碳痕量濃度衡量。

      檢驗方法：檢查有資質(zhì)的檢驗單位的檢驗報告。

      檢驗數(shù)量：全部檢驗報告。

      （3） 按設(shè)計要求做管材樣板檢查的，管材軸向剖面長度不應(yīng)小于60mm。

      檢驗方法：檢查記錄和樣板。

      檢驗數(shù)量：抽查30％。

      （4） 對輸送壓力大于等于0.5MPa的可燃氣體、有毒氣體的管道焊接處應(yīng)進行抽樣射線照相檢查，并應(yīng)符合設(shè)計的焊縫等級要求。

      檢驗方法：X射線無破損檢測。

      檢驗數(shù)量：全部。

      （5） 氣體管道應(yīng)在氣密性檢驗合格后進行泄漏率檢查，以設(shè)計壓力保持24h后泄漏率不超過0.5％為合格。允許堵漏后再試驗。

      泄漏率按下式計算：

      式中：A--泄漏率（％）

                P₁、P₂-試驗開始和結(jié)束時的絕對壓力（MPa）；

               T₁、T₂-試驗開始和結(jié)束時的絕對溫度（K）。