潔凈室氣體管道系統(tǒng)吹除和供給裝置要求如下：

一、潔凈室氣體管道系統(tǒng)吹除要求

1. 氣體管道各項(xiàng)試驗(yàn)合格后，應(yīng)使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮?dú)獯党軆?nèi)污物，吹除氣流流速應(yīng)大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為合格。

2. 管道吹除合格后，應(yīng)再以實(shí)際輸送的氣體，在工作壓力下，對管道系統(tǒng)進(jìn)行吹除，應(yīng)無常聲音和振動為合格。輸送可燃?xì)怏w的管道在啟用之前，應(yīng)用惰性氣體將管內(nèi)原有氣體置換。

二、潔凈室氣體供給裝置要求

1. 瓶裝氣體供給裝置應(yīng)安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應(yīng)加套管，并應(yīng)在管道與套管間隙填滿不燃材

料并加密封。

2. 裝置出口管道上的安全閥在安裝前應(yīng)進(jìn)行閥門開啟檢查。開啟壓力、密封壓力和回座壓力應(yīng)符合安全閥性能要求。

3. 集中式真空吸引裝置應(yīng)安裝在遠(yuǎn)離潔凈室的建筑物外，安裝時應(yīng)采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應(yīng)小于5倍管外徑，過濾清除設(shè)施應(yīng)安在排氣口。