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GB/T 36370-2018 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 空氣過濾器應用指南:本標準適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的空氣過濾器。 本標準給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣過濾器效率分級和各種過濾器的應用...
GB/T 36306-2018 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 空氣化學污染控制指南:本標準提出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣化學污染控制的檢測、控制等指南。 本標準適用于微電子、光電子工廠以及特殊需求的生產(chǎn)、...
GB/T 36066-2018 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 檢測技術(shù)分析與應用:本標準給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測要求、基本儀器配置和技術(shù)要求。 本標準適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測技術(shù)分析與應用。...
GB/T 33555-2017 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 靜電控制技術(shù)指南:本標準適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的靜電控制。 本標準給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境控制靜電的術(shù)語和定義、靜電控制、培訓與規(guī)范等要求...
GB/T 29469-2012 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 性能及合理性評價:本標準規(guī)定了對潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的性能及合理性評價的程序和內(nèi)容。 本標準適用于對潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的性能及合理性評價。...
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