1 范圍
本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境控制靜電的術(shù)語(yǔ)和定義、靜電控制、培訓(xùn)與規(guī)范等要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的靜電控制。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB 4824—2013 工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療(ISM)射頻設(shè)備 騷擾特性 限值和測(cè)量方法
GB/T 18202 室內(nèi)空氣中臭氧衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)
GB 50073—2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
IEC 61340-5-1 電子設(shè)備的靜電防護(hù) 通用要求(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-General requirements)
IEC/TR 61340-5-2 電子設(shè)備的靜電防護(hù) 用戶指南(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena—User guide)
IEC 61340-5-3 電子設(shè)備的靜電防護(hù) 靜電敏感設(shè)備包裝特性和要求分級(jí)(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-Properties and requirements classification for packaging intended for electrostatic discharge sensitive devices)
3 術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
3.1
靜電耗散材料 static-dissipative materials
表面電阻率在105Ω?1012Ω之間，或體積電阻率在104 Ω?cm?1011 Ω?cm之間的材料。
3.2
靜電場(chǎng) electrostatic field
靜電荷在其周闈所激發(fā)的電場(chǎng)，基本特征是在壓差作用下，對(duì)位于該場(chǎng)中的其他電荷施以作用力。
注：改寫(xiě) GB/T 15463—2008,定義 3.3。
3.3
靜電勢(shì) electrostatic potential
一點(diǎn)與另一個(gè)規(guī)定參照點(diǎn)之間的電位差。
3.4
靜電控制 electrostatic charge control ； ESCC
對(duì)于定產(chǎn)品或工藝，將靜電效應(yīng)控制在允許限度之下的，由設(shè)施、材料、附件、操作規(guī)程構(gòu)成的系統(tǒng)。
3.5
靜電放電 electrostatic discharge ； ESD
靜電勢(shì)不同的物體,因接近或接觸導(dǎo)致靜電荷的轉(zhuǎn)移。
3.6
靜電放電控制 electrostatic discharge control； ESDC
限制或消除靜電荷的傳遞。
3.7
衰減時(shí)間 decay time
靜電勢(shì)衰減至初始值的某一規(guī)定比值（一般規(guī)定為初始值的10%）所消耗的時(shí)間。
4 靜電控制
4.1 靜電來(lái)源、危害及監(jiān)測(cè)
4.1.1 來(lái)源
常見(jiàn)的靜電來(lái)源有:工藝設(shè)備、某些塑料、人的活動(dòng)。絕緣體（通常為合成材料）上的電荷不易轉(zhuǎn)移, 若不與其他導(dǎo)體接觸，絕緣體上的靜電電壓可能非常高。
表1列出受控環(huán)境中容易出現(xiàn)靜電的地方。
表2列出因人的活動(dòng)產(chǎn)生的靜電電壓。
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