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GB/T 33555-2017 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 靜電控制技術(shù)指南

發(fā)布時(shí)間:2022-05-09 16:49人氣:

1 范圍

      本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境控制靜電的術(shù)語(yǔ)和定義、靜電控制、培訓(xùn)與規(guī)范等要求。

      本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的靜電控制。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

      GB 4824—2013 工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療(ISM)射頻設(shè)備 騷擾特性 限值和測(cè)量方法

      GB/T 18202 室內(nèi)空氣中臭氧衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)

      GB 50073—2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

      IEC 61340-5-1 電子設(shè)備的靜電防護(hù) 通用要求(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-General requirements)

      IEC/TR 61340-5-2 電子設(shè)備的靜電防護(hù) 用戶指南(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena—User guide)

      IEC 61340-5-3 電子設(shè)備的靜電防護(hù) 靜電敏感設(shè)備包裝特性和要求分級(jí)(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-Properties and requirements classification for packaging intended for electrostatic discharge sensitive devices)

3 術(shù)語(yǔ)和定義

      下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1

      靜電耗散材料 static-dissipative materials

      表面電阻率在105Ω?1012Ω之間,或體積電阻率在104 Ω?cm?1011 Ω?cm之間的材料。

3.2

      靜電場(chǎng) electrostatic field

      靜電荷在其周闈所激發(fā)的電場(chǎng),基本特征是在壓差作用下,對(duì)位于該場(chǎng)中的其他電荷施以作用力。

      注:改寫(xiě) GB/T 15463—2008,定義 3.3。

3.3

      靜電勢(shì) electrostatic potential

      一點(diǎn)與另一個(gè)規(guī)定參照點(diǎn)之間的電位差。

3.4

      靜電控制 electrostatic charge control ; ESCC

      對(duì)于定產(chǎn)品或工藝,將靜電效應(yīng)控制在允許限度之下的,由設(shè)施、材料、附件、操作規(guī)程構(gòu)成的系統(tǒng)。

3.5

      靜電放電 electrostatic discharge ; ESD

      靜電勢(shì)不同的物體,因接近或接觸導(dǎo)致靜電荷的轉(zhuǎn)移。

3.6

      靜電放電控制 electrostatic discharge control; ESDC

      限制或消除靜電荷的傳遞。

3.7

      衰減時(shí)間 decay time

      靜電勢(shì)衰減至初始值的某一規(guī)定比值(一般規(guī)定為初始值的10%)所消耗的時(shí)間。

4 靜電控制

4.1 靜電來(lái)源、危害及監(jiān)測(cè)

4.1.1 來(lái)源

      常見(jiàn)的靜電來(lái)源有:工藝設(shè)備、某些塑料、人的活動(dòng)。絕緣體(通常為合成材料)上的電荷不易轉(zhuǎn)移, 若不與其他導(dǎo)體接觸,絕緣體上的靜電電壓可能非常高。

      表1列出受控環(huán)境中容易出現(xiàn)靜電的地方。

      表2列出因人的活動(dòng)產(chǎn)生的靜電電壓。

表1.jpg

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