工業(yè)潔凈室的潔凈度級別是以潔凈室內(nèi)單位體積空氣中大于等于某一粒徑的懸浮粒子允許數(shù)量來規(guī)定的。如前所說，隨著潔凈技術(shù)的發(fā)展，各國的標(biāo)準(zhǔn)也在不斷發(fā)展。以前工程界習(xí)慣采用的是美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS-209系列。

表1 FS-209E潔凈度級別

      表1是1992年頒布的FS-209E，它同時采用了英制和國際單位制（立方英尺ft³和立方米m³）。

      該標(biāo)準(zhǔn)以空氣中大于等于0.5 μm粒徑的粒子允許數(shù)量為分級標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)采用國際單位時，等級的名稱為每立方米空氣中最大允許粒子數(shù)的常用對數(shù)值（以10為底），例如：每立方米空氣中大于等于0.5μm粒徑的最大允許粒子數(shù)為3530顆，而3530的常用對數(shù)值為3.55，所以命名為M3.5級；若采用英制單位，同一級別折算到每立方英尺空氣中大于等于0.5μm粒徑的最大允許粒子數(shù)為100顆，則命名為100級。

      有些工程根據(jù)工藝需要需控制的粒徑不在上表給出的數(shù)值內(nèi)，可以根據(jù)所提供的線算圖或換算式進行換算，由于該標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)不再使用，故不作詳述，需要者可以參看有關(guān)資料。