我國(guó)的空氣潔凈技術(shù)起始于上世紀(jì)50年代中期，至今大致經(jīng)歷了四個(gè)發(fā)展階段：

      （1）從50年代中期到60年代中期，主要借鑒原蘇聯(lián)的技術(shù)，服務(wù)于國(guó)防、航天、原子能工業(yè)與科研。與現(xiàn)代潔凈技術(shù)相比，在廠房、設(shè)備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙，屬于起步階段；

      （2）從60年代中期到70年代后期，由于國(guó)內(nèi)外的種種原因，主要靠自力更生發(fā)展。當(dāng)時(shí)參照了美國(guó)和日本的標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)，逐步研制成高效過濾器和鈉焰法試驗(yàn)臺(tái)（1965年）、潔凈工作臺(tái)（1967年）、粒子計(jì)數(shù)器（1974年）、裝配式潔凈室（1976年）及其他潔凈室附屬設(shè)備（風(fēng)淋室、傳遞窗、余壓閥等），編制了“空氣潔凈技術(shù)措施”，奠定了我國(guó)潔凈技術(shù)的基礎(chǔ)；

      （3）從70年代末到80年代末，由于實(shí)行了改革開放的國(guó)策，發(fā)達(dá)國(guó)家的技術(shù)與設(shè)備開始進(jìn)入我國(guó)市場(chǎng)，現(xiàn)代潔凈技術(shù)在我國(guó)的大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、彩色顯象管、液晶顯示屏等工業(yè)潔凈領(lǐng)域得到迅速發(fā)展，裝備0.1μm高效過濾器的10級(jí)潔凈小室(1986年)和無(wú)隔板過濾器(1989年)研制成功。同時(shí)在醫(yī)療、制藥、 生物、化裝品與食品行業(yè)生物潔凈室也得到應(yīng)用，一些制藥廠對(duì)原有空調(diào)系統(tǒng)的改造中開始采用生物潔凈技術(shù)（1978年），簡(jiǎn)易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無(wú)菌病房用于醫(yī)院（1980年），生物安全工作臺(tái)（1981年）和細(xì)菌采樣儀（1982年）研制成功。1982年我國(guó)醫(yī)藥行業(yè)GMP公布，1983年中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)成立，1985年GBJ73-84《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》頒布，我國(guó)的潔凈技術(shù)進(jìn)入穩(wěn)步發(fā)展階段；

      （4）從80年代末至今，在大規(guī)模集成電路領(lǐng)域全面引進(jìn)境外資金、技術(shù)與設(shè)備，形成一批知名的國(guó)際品牌企業(yè)，潔凈室的規(guī)模越來(lái)越大，F(xiàn)FU和微環(huán)境技術(shù)得到應(yīng)用和推廣。醫(yī)療和制藥領(lǐng)域潔凈技術(shù)趨向成熟與規(guī)范，生物安全技術(shù)發(fā)展迅速。包括微環(huán)境、密褶型無(wú)隔板HEPA、微電腦控制過濾器性能測(cè)試臺(tái)等潔凈技術(shù)相關(guān)的技術(shù)設(shè)備基本可以實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)，同時(shí)還開始了0.1μm光刻機(jī)及相關(guān)環(huán)境的研制。1999年ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后，我國(guó)等同采用此國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》頒布，此后一系列有關(guān)醫(yī)藥、醫(yī)療和生物安全實(shí)驗(yàn)室的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)陸續(xù)頒布或正在修訂和制定中。

      我國(guó)的空氣潔凈技術(shù)經(jīng)歷了50多年的發(fā)展，已經(jīng)形成相當(dāng)完整的技術(shù)體系和廣闊的應(yīng)用市場(chǎng)，但還必須看到，由于種種原因，在潔凈技術(shù)的高端領(lǐng)域和市場(chǎng)，我國(guó)還存在差距和缺少話語(yǔ)權(quán)，還需要科技和工程技術(shù)人員的不斷努力。