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電子工業(yè)潔凈廠房特種氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求:1. 特種氣體應(yīng)采用外購(gòu)鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應(yīng)，在電子工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)。 2. 潔凈廠房?jī)?nèi)特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔...
電子工業(yè)潔凈廠房干燥壓縮空氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求:潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： （1） 供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗...
電子工業(yè)潔凈廠房常用氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求:1.常用氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設(shè)置制氣裝置或采用外購(gòu)液態(tài)氣體、瓶裝氣體。 2. 氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管。氫氣放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器。放散...
電子工業(yè)潔凈廠房氣體供應(yīng)設(shè)計(jì)一般規(guī)定:1. 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。 2. 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣...
電子工業(yè)潔凈廠房純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求:1. 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。 2. 純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)...
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