一、純水供應(yīng)一般規(guī)定

1. 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。

2. 純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)；潔凈室（區(qū)）內(nèi)的純水支管宜暗裝。

3. 穿越潔凈室（區(qū)）墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

4. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。

二、純水系統(tǒng)設(shè)計要求

1. 純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。

2. 純水的制備、儲存和輸送設(shè)備，應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求；

      （2）純水儲罐、輸送設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)確保水質(zhì)污染少、密封性好，不得有滲氣現(xiàn)象；

      （3）純水制備、儲存、輸送設(shè)備應(yīng)有效地防止水質(zhì)降低。

3. 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設(shè)有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計供水量的30％；

      （2）干管流速應(yīng)大于等于1.5m／s；

      （3）不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于管徑的6倍；

      （4）干管應(yīng)設(shè)置清洗口；

      （5）管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；

      （6）應(yīng)配備在線水質(zhì)檢測儀表；

      （7）對純水水質(zhì)要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。

4. 純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設(shè)備表面應(yīng)光潔、平整、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

5. 用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測設(shè)備、量具、儀表，其連接不應(yīng)使純水水質(zhì)降低，其檢測范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求。

6. 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設(shè)備設(shè)置。

三、管材、閥門和附件選用要求

1. 純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求：

      （1）應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標的要求；

      （2）材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)好；

      （3）管道內(nèi)壁光潔度應(yīng)好；

      （4）不得有滲氣現(xiàn)象。

2.純水管道的閥門和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1）應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì)；

      （2）應(yīng)選用密封好、結(jié)構(gòu)合理、無滲氣現(xiàn)象的閥門；

      （3）對純水的水質(zhì)要求嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統(tǒng)，應(yīng)采用隔膜閥。