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電子工業(yè)潔凈廠房防靜電措施設計要求

發(fā)布時間:2022-06-02 19:18人氣:

電子工業(yè)潔凈廠房防靜電措施設計要求如下:

1. 潔凈廠房防靜電環(huán)境中,防靜電地面的面層結構和材料應符合下列要求:

      (1)防靜電地面面層的選擇,應滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求;

      (2)防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料,靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5×104~1×109Ω;

      (3)防靜電地面應設置導靜電泄放設和接地連接,其地面對地泄放電阻值應為1×105~1×108Ω。

2. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設計,應符合下列要求:

      (1) 一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5×104~1×106Ω,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;

      (2) 二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1×106~1×109Ω,摩擦起電電壓不應大于200V,靜電半衰期不應大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;

      (3) 三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。

3. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設計,應符合下列要求:

      (1) 應選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面;

      (2) 金屬門窗表面應涂刷靜電耗散性涂層,并應接地;

      (3) 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時,玻璃表面應粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

4. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設計應符合下列要求:

      (1) 各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能,不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料;

      (2) 各類裝修的飾面應平整光滑。

5. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。

6. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應在其表面安裝金屬網(wǎng),并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。

7. 潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設置靜電消除器、防靜電安全工作臺。


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