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電子工業(yè)潔凈廠房防靜電接地設計要求

發(fā)布時間:2022-06-02 17:53人氣:

一、防靜電與接地設計一般要求

1. 潔凈廠房應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設計應滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生,以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。

2. 防靜電環(huán)境設計應按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設備)進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設計應分為三級,防靜電環(huán)境設計分級適用場所應符合表1的要求。

表1 防靜電環(huán)境設計分級適用場所

防靜電級別

靜電電位絕對值V

適用場所

一級

≤100

1 半導體器件、集成電路、平板顯示器制造和測試的場所

2 電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中操作Ⅰ級靜電敏感器件制造和測試的場所

二級

≤200

1 靜電敏感精密電子儀器的測試和維修場所

2 靜電感電子器件制造和測試的場所

三級

≤1000

除一級、二級場所以外的電子器件和整機的組裝、調(diào)試場所

二、防靜電接地設計要求

1. 潔凈廠房內(nèi)金屬物體包括潔凈室(區(qū))的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌?,應與接地系統(tǒng)做可靠連接,導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應做靜電接地。

2. 靜電接地的連接線應有足夠的機械強度和化學穩(wěn)定性,其主干線截面不應小于95mm2,支線最小截面應為2.5mm2。

3. 與人體接觸的靜電接地應串接限流電阻,限流電阻的阻值宜為1MΩ。

4. 對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道,應采取防靜電接地措施,其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關規(guī)定。

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