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潔凈室高純氣體介紹

發(fā)布時(shí)間:2022-06-15 10:22人氣:

      高純氣體是指氣體純度≥99.9995%,含水量<5×10-4%的氣體。

      潔凈廠房廣泛用于電子、生物醫(yī)藥、精細(xì)化工、精密機(jī)械、食品、化妝品等產(chǎn)品生產(chǎn)中,不同產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)所用高純度氣體的品種、純度以及氣體中允許的雜質(zhì)濃度或氣體的品質(zhì)要求差異很大。所用氣體品種之多、要求之嚴(yán)莫過(guò)于半導(dǎo)體工業(yè)為最為典型的了。這里對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)的高純氣體作一簡(jiǎn)單介紹。

一、半導(dǎo)體集成電路制造用高純氣體

1.高純氣體品種,按集成電路制造使用分:

      1)普通氣體(又稱(chēng)大宗氣體)。有:H2、N2、O2、Ar、He等。

      2)特種氣體(摻雜、外延、離子注入、刻蝕等)如:Si、SiO、Cr、Al、Mo、W等。

2.按使用時(shí)的危險(xiǎn)性分:

      1)可燃、自燃、易燃?xì)怏w。如H2、CH4、H2S、NH3等。

      2)有毒氣體。半導(dǎo)體工業(yè)所用氣體大多對(duì)人體有毒有害。如:PH3、ASH3、B2H6等。

      3) 助燃?xì)怏w。此類(lèi)氣體自身不燃,但與可燃物、可燃?xì)怏w接觸時(shí)有助燃的作用。如:O2、N2O、F2、HF等。

      4)窒息性氣體。此類(lèi)氣體性質(zhì)穩(wěn)定,不燃、無(wú)毒。但當(dāng)空氣中氧含量降低到18%時(shí),使人因缺氧而覺(jué)呼吸困難。如:N2、Ar、CO2、He等。

      5)腐蝕性氣體。遇水即呈腐蝕性,但在干燥狀態(tài)時(shí)不易腐蝕金屬。如:HCl、PCl3、POCl3、HF等。

二、高純氣體的“三度”

1.氣體純度:氣體中雜質(zhì)氣體的含量,通常用氣體純度的百分?jǐn)?shù)表示,如:99.9999%,也用雜質(zhì)氣體含量的體積比如:ppm、ppb、ppt表示。

2.干燥度:氣體中微量水分的含量,或稱(chēng)之為含濕量,通常用露點(diǎn)表示,如常壓露點(diǎn)-70℃。

3.潔凈度:氣體中含有污染物粒子的數(shù)量,粒徑為μm,數(shù)量為pc/m3。對(duì)壓縮空氣也用不可避免的固體殘留物的多少表示,單位為mg/m3,其中包括了含油量。

 

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