1.一般要求:密封性好,有一定彈性;不易老化;容易凝結固化;盡可能使用單組份材料;容易施工;有一定的粘著力;無毒、無味、色澤外觀與裝飾協(xié)調;半導體工廠中使用的密封膠不應影響產(chǎn)品的良品率。準許使用的密封材料之一是GE162型硅膠(乙醇固化型),但價格不菲。
2.密封膠種類
密封膠很多,主要有以下幾種。
(1)硅橡膠類
特點:有廣泛的適應溫區(qū),耐藥性、耐油性均好,但不耐苛性堿,有時可能發(fā)霉。
材料:由硅氧烷結構為主體半無機高分子橡膠狀彈性材料,加入一定量的聚二甲基硅氧烷,以提高機械強度。
(2)聚氨酯類
特點:硬度高、彈性好、低溫性能好、耐油和臭氧但耐水性較差。
材料:由多異氰酸酯與帶活潑性氫的醇類、胺類經(jīng)固化劑(如甘油)作用反應后的生成物。
(3)橡膠類
特點:彈性、耐藥性、耐水性、耐油性和耐久性較好。
材料:合成橡膠(如丁腈橡膠)。
用于潔凈室密封嵌縫材料必須有注明成分、品種、出廠日期、貯存有效期和施工方法的說明書及產(chǎn)品合格證書。不得使用過期的和未經(jīng)鑒定的產(chǎn)品。必要時,所用材料及其在實驗室檢測產(chǎn)生氣體的數(shù)據(jù)交由用戶質量檢驗部門征詢意見并取得書面的使用許可。