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潔凈室分子態(tài)污染物檢測(cè)方法

發(fā)布時(shí)間:2022-06-07 16:25人氣:

一、潔凈室分子態(tài)污染物(AMC)

      分子態(tài)污染物主要包括以下四種:

      (1)酸性氣體(表示為A):NO4、SOx、HF、HCl、H2SO4等。

      (2)堿性氣體(表示為B):NH3

      (3)凝聚性有機(jī)物(表為C):在常溫常壓下容易凝結(jié)在物體表面的有機(jī)物,包括碳氮化合物、硅氧化物、氟高分子有機(jī)物等。

      (4)金屬摻雜物(表示為D):Fe、Na、K、Ca、Zn、Al、Br等。

二、潔凈室分子態(tài)污染物檢測(cè)方法

      分子態(tài)污染物可采用以下采樣方法和分析方法:

      (1)采樣方法包括被動(dòng)式采樣方法和主動(dòng)式采樣方法。前者采樣周期較長,后者要有較復(fù)雜的儀器。

      主動(dòng)式采樣方法包括:撞擊法、吸附管法、擴(kuò)散采樣分析法、過濾器收集法、采樣袋(罐)法、晶圓片或平板法、液滴掃描提取法等。

      (2)空氣分子態(tài)污染物濃度的分析法包括在線分析法和離線分析法。

      在線分析法可用磁帶記錄法、紫外線照射法、轉(zhuǎn)筒式化學(xué)浸漬濾紙分析儀(CPR)上比色檢測(cè)法、離子遷移率色譜(IMS)法、便攜式氣相色譜儀(PGC)法、離子色譜監(jiān)控(ICS)法、化學(xué)發(fā)光監(jiān)控(CLS)法、表面聲波(SAW)等專用儀器直接測(cè)定分子濃度。但應(yīng)注意儀器的測(cè)定下限和測(cè)量范離線分析法,應(yīng)在主動(dòng)采樣完畢經(jīng)實(shí)驗(yàn)室分析后得出各種成分濃度。

三、撞擊采樣法

1. 撞擊采樣法適用于檢測(cè)空氣中的陰陽離子(Li+、Na、K+、Ca2+、Mg2+、Fe2+、Br-、Cl-、NH4+、SO42-、PO43-、 NO3-等)的濃度。檢測(cè)限值可按表H.3.1執(zhí)行。

表H.3.1 撞擊法檢測(cè)極限值

檢測(cè)對(duì)象

離子色譜分析極限值

ng/L

ppb

Li+

0.005

0.005

Na+

0.005

0.005

K+

0.005

0.005

Ca2+

0.005

0.002

Mg2+

0.005

0.003

NH4+

0.005

0.005

Fe2+

0.005

0.005

Br-

0.005

0.003

Cl-

0.005

0.005

NO3-

0.005

0.001

SO42-

0.005

0.001

PO43-

0.005

0.005

       注:體積濃度ppb的量級(jí)為10-9,重量濃度ng的量級(jí)為10-12。

2. 撞擊采樣法可采用如下設(shè)備和材料:

(1)測(cè)定設(shè)備如圖H.3.2所示。

 圖3.2.jpg

圖H.3.2 撞擊采樣法示意

1一氣泵;2一去濕管;3一超純水;4一采樣瓶;5-進(jìn)氣口

      (2)離子色譜分析儀。

      (3)超純水。

3. 撞擊采樣法可按以下步驟進(jìn)行:

      (1)測(cè)定前的所有準(zhǔn)備工作必須在5級(jí)潔凈環(huán)境中進(jìn)行,所使用的超純水必須保存在5級(jí)潔凈度環(huán)境中不被污染,必須保存足夠的量以供分析對(duì)比使用。

      (2) 采樣瓶內(nèi)注入30mL超純水,用管子按圖H.3.2所示將各部分連接起來。去濕管是為了保證沒有水滴被吸入采樣泵。

      (3) 開動(dòng)氣泵吸入空氣,使空氣不斷和瓶中的超純水碰撞,空氣中的成分溶解于純水。

      (4) 氣泵事先必須經(jīng)過校驗(yàn),采樣的流量為90L/h,采樣時(shí)間(8~12)h,以達(dá)到最低檢測(cè)限度為準(zhǔn)。采樣后水樣必須在(6~12)℃范圍內(nèi)保存和運(yùn)輸,在7d內(nèi)送到實(shí)驗(yàn)室分析。

      (5) 用離子色譜分析儀檢測(cè)水樣中各種成分的含量。若檢測(cè)成分多,必須采取足夠的水樣。

四、吸附管采樣法

1. 吸附管采樣法適用于檢測(cè)空氣中的易揮發(fā)和不穩(wěn)定物質(zhì)的濃度。

2. 吸附管采樣法可采用以下設(shè)備和材料:

      (1)測(cè)定設(shè)備如圖H.4.1所示。

 圖4.1.jpg

圖H.4.1 吸附管采樣法示意

1一吸附管;2一氣泵;3-調(diào)節(jié)閥;4-流量計(jì)

      (2) 氣相色譜質(zhì)譜儀。

      (3) 吸附物質(zhì)(TenaxTA60/80等,一種多孔狀的二苯氧化基聚酯)。

3. 吸附管采樣法可按以下步驟進(jìn)行:

      (1) 測(cè)定前的所有準(zhǔn)備工作必須在5級(jí)潔凈環(huán)境中進(jìn)行。

      (2) 氣泵流量為3L/h,必須經(jīng)過校驗(yàn)。采樣時(shí)間(3~9)h,達(dá)到最低檢測(cè)度為準(zhǔn)。

      (3) 采樣前后的采樣管均必須在(2~8)℃范圍內(nèi)保存和運(yùn)輸,在7d內(nèi)送到實(shí)驗(yàn)室分析。


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