一、潔凈室面層和涂層要求

1. 有防靜電要求時，圍護結(jié)構(gòu)、設備等面層和涂層不得使用高分子絕緣材料。

2. 除地面以外的圍護結(jié)構(gòu)面層（面板）應選用表面電阻在1x105Ω～1x1010Ω的靜電耗散型材料制作。

3. 當面層為非靜電耗散型材料時，其表面必須涂覆靜電耗散型材料的涂層。

4. 金屬門窗除對其表面有防靜電要求外，還應接地。

二、潔凈室系統(tǒng)部件要求

1. 風系統(tǒng)的風口和風管應采用導電材料制作，并應接地。

2. 各種系統(tǒng)中使用絕緣材料部件時，應在該部件表面安裝跨線導線或在該部位安裝接地金屬網(wǎng)。