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電子工業(yè)潔凈廠房微振控制設(shè)計(jì)要求

發(fā)布時(shí)間:2022-06-02 19:49人氣:

一、電子工業(yè)潔凈廠房微振控制一般規(guī)定

1. 潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行,應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。

2. 設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí),應(yīng)符合下列規(guī)定:

      (1) 總平面布置時(shí),應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響;

      (2)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì);

      (3)對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道,應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施;

      (4) 潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器,經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周?chē)駝?dòng)影響時(shí),應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。

二、電子工業(yè)潔凈廠房容許振動(dòng)值

1. 微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)精密儀器、設(shè)備的特性,采取綜合隔振措施,并應(yīng)滿足容許振動(dòng)值的要求。

2. 精密設(shè)備、儀器的容許振動(dòng)值物理量的表述,應(yīng)采用時(shí)間域或頻率域的振動(dòng)加速度、振動(dòng)速度和振動(dòng)位移等。

3. 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值,應(yīng)由制造商提供。無(wú)法確定時(shí),可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。

三、電子工業(yè)潔凈廠房振動(dòng)控制設(shè)計(jì)要求

1. 潔凈廠房的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì),應(yīng)按下列階段進(jìn)行微振動(dòng)測(cè)試分析:

      (1) 場(chǎng)地環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析;

      (2) 潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)特性測(cè)試及分析;

      (3) 精密設(shè)備、儀器安裝地點(diǎn)環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析;

      (4) 微振動(dòng)控制的最終測(cè)試及分析。

2. 有微振動(dòng)控制要求的潔凈室(區(qū)),其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列規(guī)定:

      (1) 建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上,且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度;

      (2) 應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系,并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔;

      (3) 主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求,適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。

3. 有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道,宜采取主動(dòng)隔振措施,并應(yīng)符合下列要求.

      (1) 宜采用隔振臺(tái)(座);

      (2) 應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?/p>

      (3) 通往潔凈室(區(qū))的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。

4. 潔凈室內(nèi)精密設(shè)備、儀器的被動(dòng)隔振措施的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求:

      (1) 隔振臺(tái)(座)應(yīng)具有足夠的剛度;

      (2) 應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施;

      (3) 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15;

      (4) 隔振臺(tái)(座)應(yīng)采取傾斜校正措施;

      (5)隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型,

      (6) 當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時(shí),其供氣系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行凈化處理,并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的要求。


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