一、電子工業(yè)潔凈廠房化學(xué)品供應(yīng)設(shè)計(jì)一般要求

1. 潔凈廠房?jī)?nèi)化學(xué)品的儲(chǔ)存、輸送方式，應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學(xué)品的品質(zhì)、數(shù)量、物理化學(xué)特性等確定。

2. 潔凈廠房?jī)?nèi)使用的各類(lèi)化學(xué)品應(yīng)按照各自的物理化學(xué)特性分類(lèi)和儲(chǔ)存，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類(lèi)及標(biāo)志》GB 13690的有關(guān)規(guī)定。

3. 在潔凈室（區(qū)）內(nèi)使用危險(xiǎn)化學(xué)品的生產(chǎn)設(shè)備或空間，應(yīng)采取相應(yīng)的安全保護(hù)措施。

二、電子工業(yè)潔凈廠房化學(xué)品供應(yīng)管材和閥門(mén)設(shè)計(jì)要求

1. 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)按所輸送化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)確定，并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。

2. 輸送腐蝕性化學(xué)品的管道，可直接采用非金屬管材，但應(yīng)設(shè)置保護(hù)套管。

3. 化學(xué)品輸送管路系統(tǒng)，對(duì)多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)設(shè)置分配閥箱。

4. 輸送有機(jī)溶劑的管道材質(zhì)，宜采用低碳不銹鋼管；輸送酸、堿類(lèi)管道材質(zhì)，宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統(tǒng)的墊片，宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。

5. 用于化學(xué)品管路的閥門(mén)材質(zhì)應(yīng)與管道材質(zhì)一致。